从历史文献来看，关于安倍晴明的家庭记载，最早可追溯至《今昔物语集》《古事谈》等平安时代文献，这些史料中并任何关于他娶自己女儿的记录。现存最可靠的史料《大日本史》明确提及，安倍晴明的父亲为安倍益材，母亲身份虽有“白狐之子”的传说，但正妻记载为安倍沙罗まさら，两人育有子女，其中儿子安倍吉平继承了阴阳师家业，女儿的具体信息则鲜少见于正史。
传言的源头，更多是后世文学创作与民间传说的演绎。江户时代的戏剧《安倍晴明》及近代小说中，为渲染其“非人”的神秘色彩，常加入虚构情节。例如，部分故事将“安倍沙罗”误传为晴明的女儿，又因“沙罗”同时出现在妻子与女儿的记载中实为后世混淆，导致“父女通婚”的误。事实上，平安时代的史料明确记载其正妻为安倍沙罗，且“沙罗”作为妻子的身份有家族谱系可考，与女儿的记载分属不同人物。
此外，从平安时代的社会伦理来看，近亲通婚在当时虽存在于部分贵族阶层，但“父女通婚”是绝对禁忌，违背《养老律令》中的婚姻规范。安倍晴明作为朝廷官员，若有此行为，不可能在正史中毫记载。
综上，“安倍晴明娶自己女儿”的说法并历史依据，实为后世文学创作与民间传说对史料的误读或虚构。安倍晴明的家庭关系在正史中虽有模糊之处，但核心事实清晰：他的妻子是安倍沙罗，子女记载中并“娶女”相关记录。这一传言更多是神秘主义对历史人物的想象延伸，而非真实历史。