除锈或活化处理针对易氧化的基材如碳钢,常用酸洗盐酸或硫酸溶液去除锈迹,或通过阳极电活化表面,形成均匀的微观粗糙面,增强镀膜附着力。
二、镀膜:真空环境下钛层沉积 工业镀钛以物理气相沉积PVD为主,核心设备为真空镀膜机,流程如下:1. 真空室抽真空
将预处理后的基材放入真空室,关闭舱门后启动真空泵,真空度需达到10⁻³~10⁻⁴Pa,以排除空气杂质对镀膜的干扰。低真空阶段10⁻¹~10⁻²Pa主要去除水蒸气和易挥发气体,高真空阶段则进一步降低残余气体分压。2. 离子轰击清洗
通入氩气Ar并施加高压电场,使氩气电离产生等离子体。高能氩离子轰击基材表面,清除残留污染物和薄弱氧化层,同时使基材表面原子获得能量,提升活性。此过程持续5~15分钟,电压控制在500~1000V。3. 钛靶溅射与反应沉积
启动钛靶电源常用直流磁控溅射或中频溅射,钛靶在高压电场作用下发生溅射,钛离子与反应气体结合形成化合物。若沉积纯钛层,需通入反应气体;若制备氮化钛TiN、碳化钛TiC等,需分别通入氮气N₂或甲烷CH₄。反应气体流量通过质量流量计精确控制,如TiN镀膜时氮气分压通常为0.1~0.5Pa。4. 薄膜生长与厚度控制
钛离子在基材表面沉积并逐渐生长成膜,通过调整溅射功率1~5kW、沉积时间30~120分钟控制膜厚,一般功能性镀膜厚度为1~5μm,装饰性镀膜为0.1~1μm。沉积过程中需保持基材温度在150~500℃,促进原子扩散和结晶。 三、后处理:质量检测与优化 镀膜成后,真空室缓慢回压,基材自然冷却至室温。附着力检测通过划格法或拉伸试验进行,划格法中用百格刀划出1mm×1mm网格,胶带剥离后涂层脱落即为合格;拉伸试验附着力≥50MPa。外观检测通过目视或显微镜观察,确保膜层均匀、针孔、色差一致。对有特殊的产品如刀具,需进行硬度测试TiN硬度可达2000~3000HV和耐磨性试验如Taber磨损试验。部分场景下还需进行封孔处理,通过涂覆清漆或硅烷处理,进一步提升耐腐蚀性。
通过以上流程,镀钛产品可获得优异的表面性能,满足不同领域的应用需求。
